晶圆厂输送机类型全解析：从OHT天车到气浮平台，哪种适合你的产线？

标题：晶圆厂输送机类型全解析：从OHT天车到气浮平台，哪种适合你的产线？

晶圆厂内的物料输送系统，是连接各工艺环节的“大动脉”。不同工艺段对输送设备的洁净度、振动、精度要求差异巨大：光刻区需要ISO 3级洁净度和纳米级振动控制，而封装测试区则

更注重防静电和柔性换产。本文系统梳理晶圆厂常见的输送机类型及其适用场景，帮助工程师和管理者做出精准选型。

一、晶圆厂输送设备的分类框架

根据在晶圆厂中的不同作用范围，输送设备主要可分为三个层级：

设备前端模块（EFEM） ：连接全厂传输系统与单个工艺设备腔室的“桥梁”，负责在超高洁净环境中从FOUP取出晶圆，经预对准后传输至工艺腔室。

晶圆分选机（Sorter） ：用于晶圆的分类、检测和重新排列。

自动物料搬运系统（AMHS） ：覆盖全厂的自动化物流网络，包括空中天车（OHT）、地面AGV/AMR等。

以下聚焦晶圆厂内常见的输送机类型，按洁净度和振动等级从低到高排列。

二、六种主流晶圆厂输送机对比

类型洁净等级振动水平适用场景成本核心优势

防静电皮带输送机ISO 5-6中等FOUP/FOSB晶圆盒传送低成本低、运行平稳

低振动滚轮输送机ISO 4-5中等晶圆托架、工装板输送中承载大、耐用

倍速链流水线ISO 5-7中低晶圆测试、老化、组装线中工装板可独立停止

气浮平台ISO 3-4极低裸晶圆无接触传输高无摩擦、零划伤

磁悬浮输送线ISO 3极低高精度定位及快速传输很高无接触、速度极快

OHT天车系统ISO 3-4低12英寸晶圆厂全厂物流极高高效、全天候自动化

三、各类型详解与选型建议

1. 防静电皮带输送机

这是晶圆厂最基础的输送设备，主要用于晶圆盒（FOUP/FOSB）在不同工序间的传送。皮带需采用低发尘防静电PU材质，滚筒轴承密封润滑，避免颗粒污染。

适用场景：晶圆测试、减薄、划片等对洁净度要求相对宽松（ISO 5-6级）的工序。优点是成本低、运行平稳，缺点是无法满足裸晶圆传输的洁净要求。

2. 低振动滚轮输送机

滚轮输送机承载能力更强，适用于晶圆托架、重载工装板的输送。通过精密轴承、柔性启停控制、减振基座等设计，可将振动控制在较低水平。

适用场景：晶圆托架输送、较重载具的自动化流转。性价比高，是大多数晶圆测试、后道车间的首选。

3. 倍速链流水线

倍速链流水线的特点是工装板可以在各工位独立停止和释放，适合需要人员在工位作业或设备检测的场景。链条需选用低发尘型，并定期润滑。

适用场景：芯片装配、老化测试、模组组装等需要人工或设备协同作业的产线。

4. 气浮平台

气浮平台利用压缩空气形成气膜，使晶圆在无接触状态下传输，彻底消除摩擦产生的微粒和振动。洁净度可达ISO 3-4级，振动极低。

适用场景：光刻前的裸晶圆传送必须使用气浮或磁悬浮方案。成本较高，但对良率保护至关重要。

5. 磁悬浮输送线

磁悬浮技术通过电磁力悬浮和驱动，实现无接触、无摩擦传输，振动趋近于零。洁净度可达ISO 3级。

适用场景：尖端工艺的高精度定位和快速传输需求。目前主要用于***制程晶圆厂。

6. OHT天车系统（空中自动搬运系统）

OHT是12英寸晶圆厂AMHS的核心装备。晶圆厂通过MES连接AMHS软件，AMHS调度系统对天车发送指令，实现晶圆搬运的“无人化生产”。在12英寸晶圆制造中，单片晶圆需在数百

台设备间流转，单次生产周期中晶圆传输里程超20公里；整厂OHT轨道总长超50公里，每日需完成50万次以上运输任务。OHT系统已从辅助工具升级为晶圆厂的“神经网络”。

适用场景：12英寸先进工艺晶圆厂的大规模量产。6英寸或8英寸晶圆厂因物料搬运量不大，AGV产品占有一定市场比例。

四、选型决策框架

选型晶圆厂输送机，建议按以下步骤推进：

明确工艺段的洁净度要求：光刻需ISO 3级，测试ISO 5级即可。不同等级对应不同设备类型。

确定振动容忍度：光刻、电子束工艺需VC-D/E级（振动速度均方根<12μm/s），普通测试可接受VC-B级。

评估物料类型：裸晶圆必须用气浮或磁悬浮；晶圆盒可用皮带或滚轮。

考虑自动化程度：全厂级物流需OHT或AMHS系统；单段输送可选独立输送机。

计算总拥有成本：高端设备初始成本高，但对良率保护和长期运行成本更优。

五、湖南越海的晶圆厂输送方案

湖南越海工业设备有限公司（www.lllve.cn）针对半导体前道及后道车间，提供分级输送解决方案：

超洁净结构：机身采用316L不锈钢或特殊阳极氧化铝型材，表面粗糙度Ra≤0.4μm，无螺丝外露、无死角。皮带选用低发尘防静电PU材质，通过第三方颗粒脱落测试。

微振动控制：驱动单元与输送主体柔性隔离，滚筒经全自动动平衡校正（G2.5级），速度采用S曲线加减速。实测晶圆片盒垂直振动加速度＜0.005g。

全线ESD实时监控：关键点安装接地电阻监测仪，接地不良时自动报警并停止输送，数据可上传MES。

模块化洁净维护：快拆结构，30分钟内完成皮带更换，所有盖板无需工具即可打开。

六、结语

晶圆厂输送机不是“一条皮带”那么简单。从OHT天车的全厂物流网络，到气浮平台的裸晶圆无接触传输，不同工艺段需要不同类型的设备。选型时需综合考虑洁净度、振动、物料类型

、自动化程度和全生命周期成本。湖南越海工业设备有限公司提供从气浮平台到倍速链流水线的全系列晶圆厂输送解决方案，欢迎访问官网获取选型手册。